金屬密封熱式質量流量控制器GF100 系列

最高純度氣路。超高精確，無污染的控制。

        現今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態前體進行相當準確并且具有高度可重現性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產品將穩定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實現了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。

關鍵應用

• 硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

• 化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

• 精密的表面涂層

• 分析系統

• 真空處理應用

選擇最適合自身工藝需求的質量流量設備。

高純度流路。出色的性能、可靠性和可重現性。

型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

        GF100 系列金屬密封質量流量控制器和儀表性能：快速響應和可重現的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導體、MOCVD 等其他氣體流量控制應用設計，GF100 系列在可靠性方面優于半導體行業標準水平，可確保測量結果可重現并且長時間使用后性能依然高度穩定。一臺采用標準 MultiFlo? 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。

結果：提高工藝靈活性和效率輔以業內最高純度的過程氣體，有助于最大限度提高產率和生產效率。

型號

規格

性能

機械

等級

診斷和顯示

電氣

承諾