金屬密封熱式質量流量控制器5850EM 系列

最高純度氣路。超高精確，無污染的控制。

        現今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態前體進行相當準確并且具有高度可重現性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產品將穩定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實現了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。

關鍵應用

• 硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

• 化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

• 精密的表面涂層

• 分析系統

• 真空處理應用

選擇最適合自身工藝需求的質量流量設備。

經驗證長期穩定，超純潔凈體系，適用于高壓應用

型號 5850EM / 5851EM

        5850EM 系列金屬密封熱質量流量控制器的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高潔凈環境下測量和控制高壓氣體流量并具有經驗證的穩定性。該產品的金屬密封結構和電鍍拋光接液表面可確保出色的流量完整性并有助于整體提升過程效率，這得益于設備無需對氣體壓力進行連續監測和重新調節即可保證流量穩定。

特點

• 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 0.2%

• 能夠根據命令變化在 3 秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計

• 流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm

• 高壓額定值 - 高達 1,500 psi

• 可選增強型內部后處理工藝 - 5μ 英寸 Ra（平均值）

• 可拆卸式流量傳感器

• 不受安裝角度影響

• 其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容

• TTL 兼容型"閥關閉"和吹掃功能

優勢

• 全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風險

• 在廣泛的工藝和應用范圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性

• 由于性能可靠，因此投資回報率出眾

• 采用可拆卸式流量傳感器，因此無需對氣壓進行連續監測和重新調節

• 由于模擬量僅為輸入/輸出，因此易于安裝和保養

應用

• 光端機

• LED/MOCVD

• 半導體

• 太陽能

型號

規格

性能

機械

等級

診斷和顯示

電氣

承諾