TESCOM? 12系列無彈簧調壓器
12 系列是一種微型超高純度工業氣體 (IGS)/VCR? 減壓型調壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度,采用束縛閥膜以及內部無彈簧和無螺紋的設計。
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12 系列是一種微型超高純度工業氣體 (IGS)/VCR? 減壓型調壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度,采用束縛閥膜以及內部無彈簧和無螺紋的設計。
TESCOM? 12 系列無彈簧無螺紋調壓器
12 系列是一種微型超高純度工業氣體 (IGS)/VCR? 減壓型調壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度,采用束縛閥膜以及內部無彈簧和無螺紋的設計。 進口壓力為 150 psig / 10.3 bar,出口壓力為 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar,流速可達 120 SLPM。 非常適合用于 OEM 工具、氣箱和低壓氣瓶柜。
規格
特點
適用于高級 OEM 氣體系統的理想產品
高靈敏度壓力控制增強質量流量控制器 (MFC) 性能
適用范圍廣,性能優越
流量:2 SCFM 至 120 SLPM
在微型元件中提供卓越的壓降和重復性
閥膜與閥體之間采用金屬對金屬密封,提供一流的密封性
內部表面光潔度為 10 Ra 或 5 Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規格
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