質量流量控制器SEC-Z700X系列
SEC-Z700X 系列配備可靠的熱傳感器和壓力不敏感功能,可實現穩定的流量控制。機載壓力測量降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。
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壓力不敏感質量流量控制器
SEC-Z700X 系列配備可靠的熱傳感器和壓力不敏感功能,可實現穩定的流量控制。機載壓力測量降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。
壓力不敏感
新的高性能功能提供了簡化的供氣系統。典型的多室氣體管路有管路調節器、壓力傳感器和過濾器,以避免壓力波動引起的質量流量控制器串擾現象。SEC-Z700X 系列具有高穩定性,可在不影響上下游壓力波動的情況下控制氣流。提供流量輸出、溫度和壓力讀數。
特征
多氣體/多范圍功能
氣體類型和滿量程流量可由客戶更改
可變 PID 功能在整個流量范圍內提供高速響應(1 秒內)
緊湊型氣體管線
無需調節器、傳感器和過濾器
穩定控制氣流,不受上下游壓力波動的影響
集成入口壓力傳感器
板載多顯示器
保修 1% Set Point 高精度
超潔凈設計——金屬隔膜,全不銹鋼SUS-316L和拋光表面處理(標準)。
尺寸緊湊
相同的接頭尺寸可達 50 SLM
信號兼容性
Analog/RS485 Digital Model , DeviceNet? Model
網絡功能
由數字信號控制。
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