質量流量模塊D700MG
關鍵的半導體制造工藝不斷需要精密的氣流控制設備，以實現未來的創新，以及前沿存儲器和邏輯設備從實驗室到工廠的轉變。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，它是 D500MG 的上層兼容型號，以支持客戶的挑戰。
專注工業自動化儀表、測量儀器
原裝進口 質量保障-滿足客戶一起需求
全國服務熱線022-22118860
服務熱線022-22118860
關鍵的半導體制造工藝不斷需要精密的氣流控制設備，以實現未來的創新，以及前沿存儲器和邏輯設備從實驗室到工廠的轉變。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，它是 D500MG 的上層兼容型號，以支持客戶的挑戰。
高速精密壓力不敏感質量流量模塊
關鍵的半導體制造工藝不斷需要精密的氣流控制設備，以實現未來的創新，以及前沿存儲器和邏輯設備從實驗室到工廠的轉變。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，它是 D500MG 的上層兼容型號，以支持客戶的挑戰。
特征
工具上氣體和滿量程配置更改 *僅 EtherCAT
為流程優化提供靈活性
100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制
提供高生產率和更好的過程性能
小流量的 MRMG 功能 (Bin101 – Bin105)
為需要小流量的過程提供靈活性
PFA 噴嘴更好的閥門關閉和耐腐蝕性
具有較低顆粒風險的穩健性可減少停機時間并優化產量
狀態監控功能
為更智能的故障預測提供更多內部數據
狀態監視功能的輸出項目
流量/壓力調零計數 |
閥門驅動計數 |
最大/最小P0,P1,P2壓力記錄 |
最大/最小塊溫度記錄 |
超過/低于壓力規格的總時間。 |
超過/低于溫度規格的總時間。 |
總工作時間 |
總控制時間 |
總流動時間（每個校準實例） |
總流量（每個校準實例） |
需要咨詢產品價格、貨期、購買產品、技術參數規格索取、技術及產品調試咨詢、商務合作請聯系我們。客服熱線：022-22118860
